カンチレバー材質

カンチレバー材質は、針先を支え、溝による動きを発電系へ伝える細い部材の材料を示します。剛性、密度、寸法によって、動きに対する部材の応答が決まります。構造には管状、中実、先細りがあり、表面の被膜と下地が異なる場合もあります。カンチレバーと針先を連続した1つの部材で作る設計も、別の針先を取り付ける設計もあります。